[实用新型]一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置有效
| 申请号： | 202123274296.0 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN216577262U | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 高玉飞;张兴春;杨春凤 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B24B31/10 | 分类号： | B24B31/10;B24B31/12;B24B47/00;B24B47/04;B24B1/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 任欢 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，包括平台，平台与升降机构连接，平台上表面固定有承载板，平台下方设有永磁铁，永磁铁与用于驱动其沿直线运动的驱动机构连接，采用本实用新型的研磨装置，工作省时省力，且研磨效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚石 切割 多晶 硅片 表面 磁力 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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