[实用新型]一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置

说明书

本实用新型涉及一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，包括平台，平台与升降机构连接，平台上表面固定有承载板，平台下方设有永磁铁，永磁铁与用于驱动其沿直线运动的驱动机构连接，采用本实用新型的研磨装置，工作省时省力，且研磨效果好。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅片加工设备技术领域，具体涉及一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置。

背景技术

这里的陈述仅提供与本实用新型相关的背景技术，而不必然地构成现有技术。

多晶硅片是制备太阳能电池衬底，目前光伏多晶硅片采用金刚石多线锯加工，具有加工速率高、面型精度高和环境友好等优点。但发明人发现，获得的多晶硅片表面仍存在大量密集清晰的材料塑性去除而形成的线痕和塑性沟槽并分布有一层薄非晶硅，采用工业上技术成熟、成本相对较低的湿法酸刻蚀工艺对表面进行制绒时，多晶硅片表面非晶层阻碍了酸溶液的刻蚀效果，影响了电池片表面的减反射绒面生产质量，不能满足太阳能电池质量要求。因此需要对多晶硅片表面进行研磨，如果采用传统的利用研磨块研磨的方式，研磨块用过一段时间后就需要更换，而且研磨时间慢，存在研磨不均匀的情况，也因力度问题容易损坏多晶硅片。

实用新型内容

本实用新型的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，操作方便，工作效率高，研磨均匀且避免了对多晶硅片的损坏。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型的实施例提供了一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，包括平台，平台与升降机构连接，平台上表面固定有承载板，平台下方设有永磁铁，永磁铁与用于驱动其沿直线运动的驱动机构连接。

可选的，所述驱动机构包括驱动元件，驱动元件通过传动机构与传动轴连接，传动轴设有齿轮，齿轮与齿条相啮合，齿条与齿条支撑部件滑动连接，永磁铁与齿条固定。

可选的，所述支撑部件设有滑槽，滑槽的侧部槽面设有弧状凸面，所述齿条侧面为与弧状凸面相匹配的弧状凹面，所述弧状凸面与弧状凹面相配合。

可选的，所述传动机构包括与驱动元件连接的主动带轮和与传动轴连接的从动带轮，主动带轮和从动带轮之间绕接有传动带，传动轴的两端与传动轴支架转动连接。

可选的，所述驱动元件采用伺服电机。

可选的，所述永磁铁通过磁铁固定部件与驱动机构连接。

可选的，所述永磁铁采用条状永磁铁，相应的所述固定部件开设有与条状永磁铁形状相匹配的矩形固定槽，条状永磁铁固定在矩形固定槽内部。

可选的，所述承载台的外周设置有挡板。

可选的，所述升降机构包括轴线竖向设置的丝杠，丝杠螺纹连接有丝杠螺母，丝杠螺母与平台固定，丝杠的两侧还设有导向柱，导向柱穿过平台并与平台滑动连接。

可选的，丝杠的顶端设有手柄。

上述本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型的研磨装置，承载台上能够放置多晶硅片，平台的下方设有与驱动机构连接的永磁铁，永磁铁能够在驱动机构的作用下沿直线方向运动，因此当多晶硅片上表面放置磁性磨料时，在永磁铁的作用下磁性磨料能够形成磁性刷子，磁性磨料对多晶硅片产生一个向下的压力，永磁铁运动时，会带动磁性磨料运动，磁性磨料的翻滚和碰撞能对硅片的待处理表面起到一个打磨作用，从而有效去除多晶硅片表面的切割痕和表面非晶层，实现了磁性研磨，操作方便，设备成本低，且避免了传统的使用研磨块研磨存在的费时费力，研磨不均匀且容易损坏多晶硅片的问题。