[实用新型]一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置

权利要求书

1.一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，包括平台，平台与升降机构连接，平台上表面固定有承载台，平台下方设有永磁铁，永磁铁与用于驱动其沿直线运动的驱动机构连接。

2.如权利要求1所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动元件，驱动元件通过传动机构与传动轴连接，传动轴设有齿轮，齿轮与齿条相啮合，齿条与齿条支撑部件滑动连接，永磁铁与齿条固定。

3.如权利要求2所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述支撑部件设有滑槽，滑槽的侧部槽面设有弧状凸面，所述齿条侧面为与弧状凸面相匹配的弧状凹面，所述弧状凸面与弧状凹面相配合。

4.如权利要求2所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述传动机构包括与驱动元件连接的主动带轮和与传动轴连接的从动带轮，主动带轮和从动带轮之间绕接有传动带，传动轴的两端与传动轴支架转动连接。

5.如权利要求2所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述驱动元件采用伺服电机。

6.如权利要求1所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述永磁铁通过磁铁固定部件与驱动机构连接。

7.如权利要求6所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述永磁铁采用条状永磁铁，相应的所述固定部件开设有与条状永磁铁形状相匹配的矩形固定槽，条状永磁铁固定在矩形固定槽内部。

8.如权利要求1所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述承载台的外周设置有挡板。

9.如权利要求1所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，所述升降机构包括轴线竖向设置的丝杠，丝杠螺纹连接有丝杠螺母，丝杠螺母与平台固定，丝杠的两侧还设有导向柱，导向柱穿过平台并与平台滑动连接。

10.如权利要求9所述的一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，其特征在于，丝杠的顶端设有手柄。