[实用新型]一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置有效

专利信息
申请号: 202123192176.6 申请日: 2021-12-19
公开(公告)号: CN217298081U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 杨昊;赵鑫;孙自阳 申请(专利权)人: 弘元新材料(包头)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 王建文
地址: 014030 内蒙古自治区包头*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,涉及单晶硅生产技术领域。本实用新型包括单晶炉主体、矩形拉晶杆主体和坩埚放置台主体,矩形拉晶杆主体设置在单晶炉主体内部的上端,坩埚放置台主体设置在单晶炉主体内部的下端,单晶炉主体的下端固定有多个圆形支腿。本实用新型通过旋转高度调整机构的结构设计,能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节,提升了收尾的成功率,减小了调整的难度;通过方形固定架、电动推杆、第三电机、第三锥齿轮和第四锥齿轮的相互配合,能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体的高度,进而能适应不同生产需求,提升了适应性。
搜索关键词: 一种 能够 提高 收尾 成功率 单晶炉 装置
【主权项】:
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