[实用新型]一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置有效

专利信息
申请号: 202123192176.6 申请日: 2021-12-19
公开(公告)号: CN217298081U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 杨昊;赵鑫;孙自阳 申请(专利权)人: 弘元新材料(包头)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 王建文
地址: 014030 内蒙古自治区包头*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 能够 提高 收尾 成功率 单晶炉 装置
【权利要求书】:

1.一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,包括单晶炉主体(1)、矩形拉晶杆主体(4)和坩埚放置台主体(15),其特征在于,所述矩形拉晶杆主体(4)设置在单晶炉主体(1)内部的上端,所述坩埚放置台主体(15)设置在单晶炉主体(1)内部的下端,所述单晶炉主体(1)的下端固定有多个圆形支腿(2),所述单晶炉主体(1)的上端安装有旋转高度调整机构,所述旋转高度调整机构用于矩形拉晶杆主体(4)的转动及高度的调整。

2.根据权利要求1所述的一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,其特征在于,所述旋转高度调整机构包括圆形转台(3)、第一电机(5)、蜗杆(6)、蜗轮(7)、圆形连接杆(8)、直齿轮(9)、矩形固定架(10)、第二电机(11)、第一锥齿轮(12)、第二锥齿轮(13)和齿条(14),所述圆形转台(3)转动连接在单晶炉主体(1)的上端,且所述圆形转台(3)与矩形拉晶杆主体(4)滑动连接,所述第一电机(5)固定连接在圆形转台(3)的上端,所述蜗杆(6)固定在第一电机(5)的输出端,所述蜗轮(7)啮合连接在蜗杆(6)的下部,所述圆形连接杆(8)固定连接在蜗轮(7)的一端,且所述圆形连接杆(8)与圆形转台(3)转动连接,所述直齿轮(9)固定连接在圆形连接杆(8)远离蜗轮(7)的一端,所述齿条(14)固定连接在矩形拉晶杆主体(4)内部且靠近直齿轮(9)的位置处,且所述直齿轮(9)与齿条(14)啮合连接,所述矩形固定架(10)固定连接在单晶炉主体(1)的上端,所述第二电机(11)固定连接在矩形固定架(10)的上端,所述第一锥齿轮(12)固定连接在第二电机(11)的输出端,所述第二锥齿轮(13)啮合连接在第一锥齿轮(12)的下部,所述第二锥齿轮(13)与矩形固定架(10)转动连接,所述第二锥齿轮(13)与矩形拉晶杆主体(4)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,其特征在于,所述单晶炉主体(1)的下端固定连接有方形固定架(16),所述方形固定架(16)的下端固定连接有电动推杆(17),所述电动推杆(17)的输出端与坩埚放置台主体(15)转动连接,所述单晶炉主体(1)的下端固定连接有第三电机(18),所述第三电机(18)的输出端固定连接有第三锥齿轮(19),所述第三锥齿轮(19)的上部啮合连接有第四锥齿轮(20),所述第四锥齿轮(20)与单晶炉主体(1)转动连接,所述第四锥齿轮(20)与坩埚放置台主体(15)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,其特征在于,所述圆形支腿(2)的下端均固定有圆形垫。

5.根据权利要求2所述的一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,其特征在于,所述矩形固定架(10)的上端且且位于第二电机(11)的外侧固定有防护罩。

6.根据权利要求2所述的一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置,其特征在于,所述齿条(14)的上端固定连接有圆形挡块。

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