[实用新型]一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置

说明书

本实用新型公开了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，涉及单晶硅生产技术领域。本实用新型包括单晶炉主体、矩形拉晶杆主体和坩埚放置台主体，矩形拉晶杆主体设置在单晶炉主体内部的上端，坩埚放置台主体设置在单晶炉主体内部的下端，单晶炉主体的下端固定有多个圆形支腿。本实用新型通过旋转高度调整机构的结构设计，能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，提升了收尾的成功率，减小了调整的难度；通过方形固定架、电动推杆、第三电机、第三锥齿轮和第四锥齿轮的相互配合，能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体的高度，进而能适应不同生产需求，提升了适应性。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产技术领域，特别是涉及一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，在单晶炉收尾工艺中，无法自动控制收尾的直径，使得晶棒收尾的成功率及重复性较差，影响晶棒有效产出，因此需要用到收尾装置，现有的收尾装置，不能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，导致收尾成功率低，调整难度大，且现有的收尾装置，不能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体的高度，易造成不能适应不同生产需求，降低了适应性，基于此，我们提出了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，以解决现有的问题：现有的收尾装置，不能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，导致收尾成功率低，调整难度大。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，包括单晶炉主体、矩形拉晶杆主体和坩埚放置台主体，所述矩形拉晶杆主体设置在单晶炉主体内部的上端，所述坩埚放置台主体设置在单晶炉主体内部的下端，所述单晶炉主体的下端固定有多个圆形支腿，所述单晶炉主体的上端安装有旋转高度调整机构，所述旋转高度调整机构用于矩形拉晶杆主体的转动及高度的调整。

进一步地，所述旋转高度调整机构包括圆形转台、第一电机、蜗杆、蜗轮、圆形连接杆、直齿轮、矩形固定架、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮和齿条，所述圆形转台转动连接在单晶炉主体的上端，且所述圆形转台与矩形拉晶杆主体滑动连接，所述第一电机固定连接在圆形转台的上端，所述蜗杆固定在第一电机的输出端，所述蜗轮啮合连接在蜗杆的下部，所述圆形连接杆固定连接在蜗轮的一端，且所述圆形连接杆与圆形转台转动连接，所述直齿轮固定连接在圆形连接杆远离蜗轮的一端，所述直齿条固定连接在矩形拉晶杆主体内部且靠近齿轮的位置处，且所述直齿轮与齿条啮合连接，所述矩形固定架固定连接在单晶炉主体的上端，所述第二电机固定连接在矩形固定架的上端，所述第一锥齿轮固定连接在第二电机的输出端，所述第二锥齿轮啮合连接在第一锥齿轮的下部，所述第二锥齿轮与矩形固定架转动连接，所述第二锥齿轮与矩形拉晶杆主体滑动连接。

进一步地，所述单晶炉主体的下端固定连接有方形固定架，所述方形固定架的下端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端与坩埚放置台主体转动连接，所述单晶炉主体的下端固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮的上部啮合连接有第四锥齿轮，所述第四锥齿轮与单晶炉主体转动连接，所述第四锥齿轮与坩埚放置台主体滑动连接。

进一步地，所述圆形支腿的下端均固定有圆形垫。

进一步地，所述矩形固定架的上端且且位于第二电机的外侧固定有防护罩。

进一步地，所述齿条的上端固定连接有圆形挡块。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过旋转高度调整机构的结构设计，能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，提升了收尾的成功率，减小了调整的难度。