[实用新型]人造金刚石离子溅射仪用稳流模块有效

专利信息
申请号: 202122754306.4 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN216290689U 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 张淑君;秦少辉;安超 申请(专利权)人: 新郑市理查德科技有限公司
主分类号: H02M3/158 分类号: H02M3/158;H02M1/088
代理公司: 郑州超仁邦专利代理事务所(普通合伙) 41202 代理人: 黎晓丹
地址: 451162 河南省郑州市新郑市薛*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型属于人造金刚石的离子溅射仪技术领域,特别涉及一种人造金刚石离子溅射仪用稳流模块,包括依次连接的变压器、电桥和稳流电路,稳流电路包括:电阻R1~R11、电容C3~C6、晶体管VT1~VT5、可变电阻器RP、二极管D1~D4;R1和R2串联后耦合于输入端的正/负极之间;VT1的栅极与R1和R2公共端连接;R3耦合于VT1的漏极与VT2的漏极之间;R4耦合于VT1的栅极和漏极之间;R5耦合于VT1的栅极和VT3的源极之间;R6耦合于VT3的栅极和VT4的栅极之间;R7耦合于VT1的源极与VT4的漏极之间;R9和R8均耦合于VT5的漏极和输入端的负极之间。本实用新型的稳流模块,稳流效果好,结构简单,造价低,功耗小。
搜索关键词: 人造 金刚石 离子 溅射 仪用稳流 模块
【主权项】:
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