[实用新型]人造金刚石离子溅射仪用稳流模块

权利要求书

1.人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，包括依次连接的变压器、电桥和稳流电路，其特征在于，所述稳流电路包括：电阻R1～R11、电容C3～C6、晶体管VT1～VT5、可变电阻器RP、二极管D1～D4；

晶体管VT1的漏极与输入端的正极电连接，源极与输出端的正极电连接；输入端的负极与输出端的负极电连接；电阻R1和电阻R2串联后耦合于输入端的正极和负极之间；晶体管VT1的栅极与电阻R1和电阻R2的公共端电连接；电阻R3耦合于晶体管VT1的漏极与晶体管VT2的漏极之间；电阻R4耦合于晶体管VT1的栅极和漏极之间；电阻R5耦合于晶体管VT1的栅极和晶体管VT3的源极之间；电阻R6耦合于晶体管VT3的栅极和晶体管VT4的栅极之间；电阻R7耦合于晶体管VT1的源极与晶体管VT4的漏极之间；电阻R9和电阻R8均耦合于晶体管VT5的漏极和输入端的负极之间；二极管D1的负极与晶体管VT2的源极电连接，正极与输入端的负极电连接；二极管D2的正极与晶体管VT2的漏极电连接，负极与晶体管VT3的栅极电连接；二极管D3的正极与晶体管VT5的漏极电连接，负极通过电阻R10与输出端的负极电连接；电阻R10耦合于晶体管VT5的栅极和二极管D3的负极之间；可变电阻器RP的一端与二极管D3的负极电连接，另一端与二极管D4的正极电连接；二极管D4的负极与输出端的正极电连接；电容C3耦合于晶体管VT2的源极和晶体管VT3的漏极之间；电容C4耦合于晶体管VT3的栅极和输入端的负极之间；电容C5耦合于晶体管VT5的漏极和晶体管VT4的源极之间；电容C6耦合于晶体管VT5的源极和输出端正极之间。

2.根据权利要求1所述的人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，其特征在于，所述晶体管VT1～VT5均为NPN型晶体管。

3.根据权利要求1或2所述的人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，其特征在于，还包括耦合于输入端的正极和负极之间的电容C1。

4.根据权利要求3所述的人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，其特征在于，还包括与电阻R1并联设置的电容C2。

5.根据权利要求4所述的人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，其特征在于，还包括耦合于输出端的正极与负极之间的电容C7。