[实用新型]一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具有效
| 申请号： | 202122195328.1 | 申请日： | 2021-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN217579069U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 姜凡;李冬强;李坡 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;B05C13/02 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 李国政 |
| 地址： | 210028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，包括千分尺、推盘、底座、底板、电极板、下层电极板、定位板、上层电极板、上盖板。从下到上依次先后摆放底板、电极板、下层电极板、定位板、电极板、上层电极板，过程中根据设计的电极尺寸及电极偏心值，通过千分尺及推盘分别推动下层电极板、定位板、上层电极板相对于电极板横竖位移，确定最终的掩膜尺寸，过程中通过磁铁吸块吸附、大帽螺丝固定，防止偏移。本实用新型节省了夹具定制的费用，减少研发成本，同时节约了定制夹具的等待时间，有利于推动项目的快速进行；此外，灵活可调的成膜夹具解决了一一对应夹具在穷尽尺寸上的不足问题，有利于最佳方案的设计及确定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 尺寸 偏心 可调 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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