[实用新型]一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具

权利要求书

1.一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是其结构包括4个千分尺（1）、4个推盘（2）、底座（3）、可调电极板，所述4个千分尺及推盘通过螺丝固定在底座（3）的四个方向上，千分尺（1）推动推盘（2）紧贴可调电极板，推动夹具位移；所述可调电极板由两层电极板配合组成，自下往上依次为底板（A）、第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）、上盖板（F），所述第二电极板（B2）和上层电极板（E）组成上电极板，第一电极板（B1）和下层电极板（C）组成下电极板，第一电极板（B1）与第二电极板（B2）相同；所述的底板（A）、第一电极板（B1）、第二电极板（B2）、上盖板（F）的长宽尺寸相同；所述第一电极板（B1）和第二电极板（B2）、下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）的长宽尺寸依次增大；

所述底板（A）、第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）都分别设有多个可拆定位销通孔、多个定位销通孔和多个螺纹孔，底板（A）设有多个螺纹孔，第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心，使得下层电极板（C）与第一电极板（B1）、上层电极板（E）与第二电极板（B2）间相对横竖位移可调节，从而调节镀膜电极的外形尺寸，定位板（D）相对于固定的第一电极板（B1）和第二电极板（B2）的横竖位移可调节，从而调节镀膜电极相对于石英晶片的偏心值。

2.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述底板（A）为强磁性不锈钢材质，下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）、上盖板（F）为弱磁性不锈钢材质，电极板（B）为无磁性不锈钢材质；所述底板（A）上设有凹槽，槽内放置磁铁吸块（A8），通过大帽螺丝（9）及磁铁吸块（A8）将定位后的下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）固定在底板（A）上。

3.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述可拆定位销销孔的位置设计不对称，达到防错的效果。