[实用新型]一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具有效
| 申请号: | 202122195328.1 | 申请日: | 2021-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN217579069U | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
| 发明(设计)人: | 姜凡;李冬强;李坡 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;B05C13/02 |
| 代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 李国政 |
| 地址: | 210028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电极 尺寸 偏心 可调 镀膜 夹具 | ||
本实用新型涉及一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具,包括千分尺、推盘、底座、底板、电极板、下层电极板、定位板、上层电极板、上盖板。从下到上依次先后摆放底板、电极板、下层电极板、定位板、电极板、上层电极板,过程中根据设计的电极尺寸及电极偏心值,通过千分尺及推盘分别推动下层电极板、定位板、上层电极板相对于电极板横竖位移,确定最终的掩膜尺寸,过程中通过磁铁吸块吸附、大帽螺丝固定,防止偏移。本实用新型节省了夹具定制的费用,减少研发成本,同时节约了定制夹具的等待时间,有利于推动项目的快速进行;此外,灵活可调的成膜夹具解决了一一对应夹具在穷尽尺寸上的不足问题,有利于最佳方案的设计及确定。
技术领域
本实用新型是一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具,属于石英电子元器件制作的生产设计技术领域。
背景技术
石英晶体元器件为各类电路系统提供时钟信号,又称为电子系统的“心脏”。石英晶体元器件的主要工作原理是逆压电效应:在石英晶体两端加上电压,晶体产生形变,应变大小与场强成正比,将电能转化为机械能。常见的晶体振动模式为厚度切变模式。随着电子信息技术的飞速发展,电子元器件的运用越来越广泛,同时对频率元件的要求也变得越来越高。石英晶体频率元器件也面临着更高的稳定性、更好的DLD特性等要求。
电极尺寸及偏心值的设计直接影响到石英晶体元器件的稳定性,且影响显著,合理的电极尺寸及偏心值设计会保证石英晶体谐振器、振荡器的频率稳定,如果设计不合理,将会导致频率的跳变,影响整个系统的稳定。
在新品研发的设计过程中,电极尺寸及偏心值的设计是一项重点研究对象,传统的设计方法是设计梯度尺寸及偏心,定制一一对应电极板夹具,再进行试验验证,如果结果不合格,仍需重复的去定制夹具,这个过程耗时伤财,且很难穷尽尺寸配合。
石英晶片的电极分为主电极和副电极两部分,主电极区域为石英晶片的主振区域,决定石英晶片的频率及相关特性,副电极区域主要起到导电作用,对石英晶片的性能影响可忽略不计,因此可以在牺牲负电极尺寸一致性的基础上,在一定范围内调整主电极尺寸,达到石英晶片的最佳性能。
发明内容
本实用新型提出的是一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及方法。其目的在于解决传统的尺寸、偏心固定型单层电极板定制周期长、定制成本高、尺寸局限性等问题,提出一种两层式尺寸、偏心可调的电极板,通过千分尺推盘工装推动各层夹具相对位移,实现尺寸和偏心的设计,进而提高设计研发效率、提升设计研发水平。
本实用新型的技术解决方案:一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具,其结构包括4个千分尺1、4个推盘2、底座3、可调电极板,所述4个千分尺及推盘通过螺丝固定在底座3的四个方向上,千分尺推动推盘2紧贴可调电极板,推动夹具位移;所述可调电极板由两层电极板配合组成,自下往上依次为底板A、第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E、上盖板F,所述第二电极板B2和上层电极板E组成上电极板,第一电极板B1和下层电极板C组成下电极板;所述的底板A、第一电极板B1、第二电极板B2、上盖板F的长宽尺寸相同;所述第一电极板B1和第二电极板B2、下层电极板C、定位板D、上层电极板E的长宽尺寸依次增大;
所述底板A、第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E都分别设有多个可拆定位销通孔、多个定位销通孔和多个螺纹孔,上盖板F设有多个螺纹孔,第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板A上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔,使得下层电极板C与第一电极板B1、上层电极板E与第二电极板B2间相对横竖位移可调节,从而调节镀膜电极的外形尺寸,定位板D相对于固定的第一电极板B1和第二电极板B2的横竖位移可调节,从而调节镀膜电极相对于石英晶片的偏心值,调节完成后固定各板位置,开始清洗镀膜。
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