[实用新型]一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台

摘要

一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，本实用新型涉及刻蚀机技术领域，槽体的内侧壁上开设有一号导向槽，一号导向槽的内部活动嵌设有转动环；转动环的外侧壁上开设有环形槽，转动环的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴，数个二号气嘴分别与相对应位置上的导气孔相连通设置；槽体的外侧壁底部通过电机支架固定设置有气泵；一号电机的输出轴穿过槽体后，与一号齿轮的中部固定连接，一号齿轮的下侧与一号齿环相啮合设置；齿轮箱顶面上活动嵌设有调节块，调节块的顶面固定设置有支撑台；能够有效的防止反应气体在晶圆边缘聚集的现象发生，使得晶圆的边缘区域刻蚀更加均匀，提高了产品的生产质量，实用性更强。