[实用新型]一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台

权利要求书

1.一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，它包含槽体（1）、上盖（2）、凸缘（3）和液压推杆（4）；槽体（1）为上侧开口的中空结构，槽体（1）上侧的开口端上罩设有上盖（2），槽体（1）的四周壁上以及上盖（2）的四周壁上均固定设置有凸缘（3），槽体（1）的左右两侧对称设置有液压推杆（4），液压推杆（4）的上下两端分别固定设置在上下两侧的凸缘（3）相对面上；上盖（2）的底面上固定设置有一号气嘴（5），二号气嘴（11）的上端固定连接有总管（6），总管（6）穿过上盖（2）的中部后，与外部供气机构连接；其特征在于：它还包含转动环（8）、一号电机（16）、二号电机（23）、一号齿环（15）、二号齿环（21）、调节块（19）、支撑台（20）、一号齿轮（17）和二号齿轮（22）；槽体（1）的内侧壁上开设有一号导向槽（7），一号导向槽（7）的内部活动嵌设有转动环（8），转动环（8）的截面呈十字形设置；转动环（8）的外侧壁上开设有环形槽（9），转动环（8）的内侧壁上等圆角开设有数个导气孔（10），数个导气孔（10）均与环形槽（9）的内部相连通设置，转动环（8）的内侧壁上等圆角固定设置有数个二号气嘴（11），数个二号气嘴（11）分别与相对应位置上的导气孔（10）相连通设置；槽体（1）的外侧壁底部通过电机支架固定设置有气泵（12），气泵（12）的输入端上固定连接有进气管（13），进气管（13）的另一端穿过槽体（1）的侧壁后，与槽体（1）的内底部相连通设置；气泵（12）的输出端上固定设置有排气管（14），排气管（14）的另一端固定穿过槽体（1）的侧壁后，与环形槽（9）的内部相连通设置；转动环（8）的顶面上固定设置有一号齿环（15），槽体（1）的左侧壁上通过电机支架固定设置有一号电机（16），一号电机（16）的输出轴穿过槽体（1）后，与一号齿轮（17）的中部固定连接，一号齿轮（17）的下侧与一号齿环（15）相啮合设置；槽体（1）的内底面上固定设置有齿轮箱（18），齿轮箱（18）顶面上活动嵌设有调节块（19），调节块（19）的顶面固定设置有支撑台（20），调节块（19）伸设在齿轮箱（18）内部的外侧壁上固定设置有二号齿环（21），二号齿环（21）的一侧相啮合设置有二号齿轮（22），齿轮箱（18）的内底面上通过电机支架固定设置有二号电机（23），二号电机（23）的输出轴与二号齿轮（22）的中部固定连接；所述的一号电机（16）、气泵（12）和二号电机（23）均与外部电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的齿轮箱（18）顶面的开口端内侧壁上开设有二号导向槽（24），调节块（19）的外侧壁上固定设置有导向环（25），导向环（25）滑动嵌设在二号导向槽（24）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的一号导向槽（7）与转动环（8）的连接部位均固定设置有密封圈（26），密封圈（26）的内侧壁与转动环（8）的侧壁相活动抵触设置。

4.根据权利要求1所述的一种能够提高晶圆刻蚀均匀性的刻蚀机台，其特征在于：所述的调节块（19）底面的前侧固定设置有安装板（27），安装板（27）的左右两侧壁上均固定设置有按压开关（28），按压开关（28）与二号电机（23）连接，二号齿环（21）前后两侧的齿轮箱（18）内顶面的前后两侧对称垂直固定设置有安装杆（29），安装杆（29）的端头上固定设置有拨动板（30），拨动板（30）与按压开关（28）的位置相配合设置。