[发明专利]一种大尺寸面板铝靶的制备方法有效
| 申请号： | 202110979810.6 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113649773B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸面板铝靶的制备方法，所述制备方法包括：对铝坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理以及精铣处理，得到铝靶；将所述铝靶与背板进行钎焊处理，并依次进行抛光处理以及喷砂处理，得到所述大尺寸面板铝靶。所述制备方法有效改善了靶材的性能和质量，提高了铝靶与背板的结合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 面板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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