[发明专利]一种大尺寸面板铝靶的制备方法

权利要求书

1.一种大尺寸面板铝靶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

对铝坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理以及精铣处理，得到铝靶；

所述第一锻伸处理的温度为290～310℃；

所述第一热处理的温度为290～310℃；

所述第二锻伸处理的温度为290～310℃；

所述第二热处理的温度为145～155℃；

将所述铝靶与背板进行钎焊处理，并依次进行抛光处理以及喷砂处理，得到所述大尺寸面板铝靶。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一锻伸处理的方法为将所述铝坯料镦粗至原长度的70～75％，再拔长至原长度的125～130％。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一锻伸处理重复至少2次。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一热处理的时间为55～65min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二锻伸处理为将所述铝坯料镦粗至原长度的70～75％，再拔长至原长度的125～130％。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二锻伸处理重复至少2次。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二热处理的时间为10～20min。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述精铣处理包括对铝靶的焊接面、溅射面、外形以及R角进行精铣。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钎焊的温度为200～220℃。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钎焊得到的结合层的厚度为0.25～0.5mm。

11.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抛光前进行烘干处理。

12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述烘干处理的温度为70～90℃。

13.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述烘干处理的时间为30～60min。

14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抛光处理后溅射面的粗糙度Ra为0.2～0.8μm。

15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理后背板的粗糙度Ra为5～10μm。

16.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理后铝靶的粗糙度Ra≤3.2μm。

17.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理的空气压力为4～5kg/cm²G。

18.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理过程中喷砂装置与背板或铝靶的距离为300～400mm。

19.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

对铝坯料依次进行第一锻伸处理，所述第一锻伸处理的方法为将所述铝坯料镦粗至原长度的70～75％，再拔长至原长度的125～130％，温度为290～310℃，重复至少2次；

第一热处理，所述第一热处理的温度为290～310℃，时间为55～65min；

第二锻伸处理，所述第二锻伸处理为将所述铝坯料镦粗至原长度的70～75％，再拔长至原长度的125～130％，温度为290～310℃，重复至少2次；

第二热处理，所述第二热处理的温度为145～155℃，时间为10～20min；

精铣处理，所述精铣处理包括对铝靶的焊接面、溅射面、外形以及R角进行精铣得到铝靶；

将所述铝靶与背板进行钎焊处理，所述钎焊的温度为200～220℃，所述钎焊得到的结合层的厚度为0.25～0.5mm；

烘干处理，所述烘干处理的温度为70～90℃，时间为30～60min；

并依次进行抛光处理以及喷砂处理，所述抛光处理后溅射面的粗糙度Ra为0.2～0.8μm，所述喷砂处理后背板的粗糙度Ra为5～10μm，所述喷砂处理后铝靶的粗糙度Ra≤3.2μm，所述喷砂处理的空气压力为4～5kg/cm²G，所述喷砂处理过程中喷砂装置与背板或铝靶的距离为300～400mm，得到所述大尺寸面板铝靶。