[发明专利]一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用在审
| 申请号： | 202110351068.4 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113021660A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 伍尚华;李林;伍海东;张凤林 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;B24B49/00;B24B47/20 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 蒋学超 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用，涉及氮化铝陶瓷基板技术领域。其中，方法包括：将氮化铝陶瓷固定在电镀金刚石线锯的载物台上，通过电镀金刚石线锯将氮化铝陶瓷切割为氮化铝陶瓷基板，其中，在切割过程中，不间断向电镀金刚石线锯的金刚石线与氮化铝陶瓷接触的位置喷洒冷却液，冷却液为极压乳化液及合成切削液中的至少一种，金刚石线上的金刚石的目数为200‑300目。本发明中，选用极压乳化液或合成切削液作为冷却液，能够有效降低氮化铝陶瓷基板的翘曲度以及表面粗糙度。进一步地，金刚石线上的金刚石的目数为200‑300目，能够具备较好的切割效率以及较低的磨损，同时还能够降低氮化铝陶瓷基板的表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 氮化 陶瓷 及其 切割 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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