[发明专利]一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用

说明书

本发明公开了一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用，涉及氮化铝陶瓷基板技术领域。其中，方法包括：将氮化铝陶瓷固定在电镀金刚石线锯的载物台上，通过电镀金刚石线锯将氮化铝陶瓷切割为氮化铝陶瓷基板，其中，在切割过程中，不间断向电镀金刚石线锯的金刚石线与氮化铝陶瓷接触的位置喷洒冷却液，冷却液为极压乳化液及合成切削液中的至少一种，金刚石线上的金刚石的目数为200‑300目。本发明中，选用极压乳化液或合成切削液作为冷却液，能够有效降低氮化铝陶瓷基板的翘曲度以及表面粗糙度。进一步地，金刚石线上的金刚石的目数为200‑300目，能够具备较好的切割效率以及较低的磨损，同时还能够降低氮化铝陶瓷基板的表面粗糙度。

技术领域

本发明涉及氮化铝陶瓷基板技术领域，尤其涉及一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用。

背景技术

氮化铝陶瓷基板材料具有高热导性能，在市面上占据了重要市场。大尺寸氮化铝陶瓷基板(直径大于100mm)应用领域越来越广，加工质量要求也随之提升。

对于大尺寸氮化铝陶瓷，由于尺寸大，切割过程中对金刚石颗粒磨损严重，且切缝小，散热效果差，因此容易出现切割难度大、良品率低、翘曲度大的问题。

发明内容

本发明旨在解决大尺寸氮化铝陶瓷切割过程中存在的金刚石线以损耗，所得大尺寸氮化铝陶瓷基板翘曲度大、表面粗糙、切割效率与金刚石线磨损不能兼顾的问题。

为了解决上述问题，本发明提出以下技术方案：

第一方面，本发明实施例提供一种基于电镀金刚石线锯切割大尺寸氮化铝陶瓷基板的方法，所述方法包括：将氮化铝陶瓷固定在电镀金刚石线锯的载物台上，通过电镀金刚石线锯将氮化铝陶瓷切割为氮化铝陶瓷基板，其中，在切割过程中，不间断向所述电镀金刚石线锯的金刚石线与氮化铝陶瓷接触的位置喷洒冷却液，所述冷却液为极压乳化液及合成切削液中的至少一种，所述金刚石线上的金刚石的目数为200-300目。

其进一步的技术方案为，所述金刚石线的直径为0.10mm-0.20mm。

其进一步的技术方案为，所述电镀金刚石线锯的锯丝线速度设定为28-30m/s。

其进一步的技术方案为，所述电镀金刚石线锯的工件进给速度设定为0.1mm/min-0.15mm/min。

其进一步的技术方案为，所述电镀金刚石线锯的金刚石线的张紧力设定为25N-35N。

其进一步的技术方案为，所述电镀金刚石线锯的罗拉槽距设定为0.06mm-0.15mm。

第二方面，本发明实施例提供一种氮化铝陶瓷基板，所述氮化铝陶瓷基板由第一方面所述的基于电镀金刚石线锯切割大尺寸氮化铝陶瓷基板的方法制备。

其进一步的技术方案为，所述氮化铝陶瓷基板的表面粗糙度为0.08-0.12um；翘曲度小于0.4％

其进一步的技术方案为，所述氮化铝陶瓷基板的直径大于100mm，厚度为0.1-0.12mm。

第三方面，本发明实施例提供如第二方面所述的氮化铝陶瓷基板在电子器件基板中的应用。

与现有技术相比，本发明所能达到的技术效果包括：

本发明实施例的技术方案中，选用极压乳化液或合成切削液作为冷却液，能够有效对切削进行清理，减小摩擦，使得氮化铝陶瓷基板的翘曲度以及表面粗糙度均更小。同时发明人研究发现，金刚石颗粒过大会造成单颗粒金刚石所受正压力过大而脱落失效，金刚石颗粒过小，切割力不足，效率低，在大尺寸切割过程中，随着时间延长，磨损也相对严重，因此，本发明中，金刚石线上的金刚石的目数为200-300目，能够具备较好的切割效率以及较低的磨损，同时还能够降低氮化铝陶瓷基板的表面粗糙度。

具体实施方式