[实用新型]一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置有效
| 申请号： | 202022932955.4 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN213901939U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 仇慧生;朱德成;芮瞻飞 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/00 | 分类号： | F27D7/00;F27D7/02;F27D19/00;F27D17/00;F27D21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，包括炉管主体、进气装置、排气装置；其中，炉管主体的进口端设有进气装置，炉管主体的出口端设有排气装置，进气装置向炉管主体内排进气体，排气装置将炉体主体内的气体排出；本实用新型的有益效果是：可自由的调节熔炼炉炉管内的进气与排气的气流量，可保持炉管内的气场压力的稳定性，解决了因炉管内因温度过高等因素引起的气场气压不平衡的问题，使熔炼过程更加安全便捷；同时该实用新型还具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 尺寸 硅片 炉管 排气装置 | ||
【主权项】：
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