[实用新型]一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置

说明书

本实用新型提供一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，包括炉管主体、进气装置、排气装置；其中，炉管主体的进口端设有进气装置，炉管主体的出口端设有排气装置，进气装置向炉管主体内排进气体，排气装置将炉体主体内的气体排出；本实用新型的有益效果是：可自由的调节熔炼炉炉管内的进气与排气的气流量，可保持炉管内的气场压力的稳定性，解决了因炉管内因温度过高等因素引起的气场气压不平衡的问题，使熔炼过程更加安全便捷；同时该实用新型还具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高等优点。

技术领域

本实用新型属于太阳能光伏技术领域，尤其是涉及一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置。

背景技术

在现有的技术中，大尺寸半导体熔炼炉的设计不完善，硅片熔炼的炉管内部的气场压力不平衡，且内部的高温高压等因素都会影响炉管内的气场失衡，存在炉管内的气体无法控制压力的大小，无法清晰的知晓炉管内部的气压大小等技术问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，尤其适合解决硅片熔炼炉炉管中的气场不平衡问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：提供一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，包括：

炉管主体、进气装置、排气装置；

其中，所述炉管主体的进口端设有所述进气装置，所述炉管主体的出口端设有所述排气装置，所述进气装置向所述炉管主体内排进气体，所述排气装置将所述炉体主体内的气体排出，以及还包括

气体流量控制器，所述气体流量控制器控制所述进气装置与所述排气装置的气体流量。

进一步的，还包括尾气管，所述尾气管排出所述炉管主体内残留的尾气。

进一步的，还包括压力传感器，在所述压力传感器的一端设有探测器，所述探测器伸入所述炉管主体内探测气场气体压力是否平衡。

进一步的，所述炉管主体的侧壁上设有气泵，所述气泵可调节的向所述炉管主体内排进气体。

进一步的，还包括框架，所述框架设置于所述路管主体外围，覆盖并支撑所述炉管主体的边缘。

进一步的，在所述框架上设有报警装置，所述报警装置在所述炉管主体内的气压过大时报警。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，可自由的调节熔炼炉炉管内的进气与排气的气流量，可保持炉管内的气场压力的稳定性，解决了因炉管内因温度过高等因素引起的气场气压不平衡的问题，使熔炼过程更加安全便捷；同时该实用新型还具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高等优点。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置示意图

图中：

1、炉管主体 2、进气装置 3、排气装置

4、尾气管 5、气体流量控制器 6、压力传感器

7、探测器 8、气泵 9、框架

10、报警装置

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示，出示了本实用新型实施例的结构，本实用新型实施例涉及一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置；