[实用新型]一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置

权利要求书

1.一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，包括：

炉管主体、进气装置、排气装置；

其中，所述炉管主体的进口端设有所述进气装置，所述炉管主体的出口端设有所述排气装置，所述进气装置向所述炉管主体内排进气体，所述排气装置将所述炉管主体内的气体排出,以及还包括

气体流量控制器，所述气体流量控制器控制所述进气装置与所述排气装置的气体流量。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，还包括尾气管，所述尾气管排出所述炉管主体内残留的尾气。

3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，还包括压力传感器，在所述压力传感器的一端设有探测器，所述探测器伸入所述炉管主体内探测气场气体压力是否平衡。

4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，所述炉管主体的侧壁上设有气泵，所述气泵可调节的向所述炉管主体内排进气体。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，还包括框架，所述框架设置于所述炉管主体外围，覆盖并支撑所述炉管主体的边缘。

6.根据权利要求5所述的一种适用于大尺寸硅片炉管的进排气装置，其特征在于，在所述框架上设有报警装置，所述报警装置在所述炉管主体内的气压过大时报警。