[实用新型]水冷顶板有效
| 申请号： | 202022920989.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN214361676U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴铭钦;刘峰 | 申请（专利权）人： | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种水冷顶板，其应用于化学气相沉积反应技术，水冷顶板包括一基板，基板内穿设有多个多边形水路流道，且多个多边形水路流道之间互相串接，以形成一水路通道。本实用新型通过在水冷顶板上采用多边形水路流道的设置，形成蜂巢状的设计，可确保水冷顶板强度足够，同时多边形水冷顶板的设计能有效应用水冷顶板的面积，使穿孔截面积变大，增加冷却液的流量，相对的减轻了水冷顶板的重量。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 顶板 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
