[发明专利]顶板有效
| 申请号： | 200910135779.7 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101553074A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 石桥清隆;野泽俊久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳;刘春成 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种顶板，其用于在处理容器内使高频通过而生成等离子体，该顶板的特征在于：所述顶板由电介质构成，且具有波反射部件，在所述顶板的内部传播时，该波反射部件在该顶板内部反射高频，所述波反射部件具有从所述顶板的表背的至少一个表面凹陷的凹部，该凹部的变薄的部分的厚度为所述高频在所述顶板中传播时的波长的1/2倍以下。 | ||
| 搜索关键词： | 顶板 | ||
【主权项】：
1.一种顶板，其用于在处理容器内使高频通过而生成等离子体，该顶板的特征在于：所述顶板由电介质构成，且具有波反射部件，在所述顶板的内部传播时，该波反射部件在该顶板内部反射高频，所述波反射部件具有从所述顶板的表背的至少一个表面凹陷的凹部，该凹部的变薄的部分的厚度为所述高频在所述顶板中传播时的波长的1/2倍以下。
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