[实用新型]水冷顶板有效
| 申请号： | 202022920989.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN214361676U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴铭钦;刘峰 | 申请（专利权）人： | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水冷 顶板 | ||
【权利要求书】：
1.一种水冷顶板，安装在气相沉积的反应腔室上，其特征在于，该水冷顶板包括：
一基板，其内穿设有多个多边形水路流道，且该多个多边形水路流道互相串接，形成至少一水路通道。
2.如权利要求1所述的水冷顶板，其特征在于：该多个多边形水路流道为六边形水路流道。
3.如权利要求1所述的水冷顶板，其特征在于：该多个多边形水路流道通过连接管互相串接形成该水路通道。
4.如权利要求3所述的水冷顶板，其特征在于：该水路通道还包括一出水口与一入水口。
5.如权利要求4所述的水冷顶板，其特征在于：还包括一循环系统，连通该水路通道的该出水口与该入水口。
6.如权利要求1所述的水冷顶板，其特征在于：该基板为金属基板。
7.如权利要求1所述的水冷顶板，其特征在于：该基板为铝基板。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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