[实用新型]一种用于金刚石生长的组合式基片台有效
| 申请号: | 202021936120.X | 申请日: | 2020-09-07 | 
| 公开(公告)号: | CN213172681U | 公开(公告)日: | 2021-05-11 | 
| 发明(设计)人: | 张军安 | 申请(专利权)人: | 宁波晶钻新材料科技有限公司 | 
| 主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/00;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/511 | 
| 代理公司: | 宁波聚禾专利代理事务所(普通合伙) 33336 | 代理人: | 糜婧 | 
| 地址: | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 | 
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| 摘要: | 本申请公开了一种用于金刚石生长的组合式基片台,包括底座以及上盖板,所述底座的上表面具有至少一凸台,所述上盖板上贯穿设有与所述凸台一一对应的通孔,所述凸台适于插入所述通孔内,所述通孔的深度大于所述凸台的厚度,以使得所述上盖板盖设于所述底座的上表面且所述凸台插入所述通孔时,所述凸台的顶面以及所述通孔的内表面界定一生长槽,其结构简单、设计巧妙,底座和上盖板之间进行任意组合,以使得凸台和通孔之间可组合成不同厚度的生长槽,以满足不同厚度金刚石的生长需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 金刚石 生长 组合式 基片台 | ||
【主权项】:
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