[实用新型]一种用于金刚石生长的组合式基片台

权利要求书

1.一种用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：包括底座以及上盖板，所述底座的上表面具有至少一凸台，所述上盖板上贯穿设有与所述凸台一一对应的通孔，所述凸台适于插入所述通孔内，所述通孔的深度大于所述凸台的厚度，以使得所述上盖板盖设于所述底座的上表面且所述凸台插入所述通孔时，所述凸台的顶面以及所述通孔的内表面界定一生长槽。

2.如权利要求1所述的用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：所述凸台的外径与所述通孔的内径相匹配，以使得所述凸台插入所述通孔时，所述凸台的外壁与所述通孔的内壁贴合。

3.如权利要求2所述的用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：所述上盖板的上表面以及下表面均为平坦的平面。

4.如权利要求3所述的用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：包括多个所述上盖板，各个所述上盖板的厚度不同，从而各个所述上盖板具有不同深度的所述通孔。

5.如权利要求4所述的用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于，所述底座的上表面具有多个所述凸台，多个所述凸台相互间隔地设置，各个所述凸台的高度相同。

6.如权利要求3所述的用于金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：包括多个底座，不同的所述底座具有不同高度的所述凸台。

7.如权利要求6所述的金刚石生长的组合式基片台，其特征在于：所述凸台的数量为多个，多个所述凸台对称地设置于所述底座上。