[发明专利]微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号: | 202011404896.1 | 申请日: | 2020-12-02 |
| 公开(公告)号: | CN112492483B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
| 发明(设计)人: | 佐佐木宽充;林育菁 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 王迎;袁文婷 |
| 地址: | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备,其中的微型麦克风防尘装置,包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜;防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部以及设置在固定部内部的过滤网;并且,在与防尘膜所在平面相平行的平面上,支撑载体的尺寸大于固定部的尺寸,以使支撑载体包围防尘膜设置。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性,防止其在制造过程中脱落或者翘曲。 | ||
| 搜索关键词: | 微型 麦克风 防尘 装置 mems 电子设备 | ||
【主权项】:
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