[发明专利]微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备

说明书

本发明提供一种微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备，其中的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部以及设置在固定部内部的过滤网；并且，在与防尘膜所在平面相平行的平面上，支撑载体的尺寸大于固定部的尺寸，以使支撑载体包围防尘膜设置。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性，防止其在制造过程中脱落或者翘曲。

技术领域

本发明涉及电子装置技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备。

背景技术

现有的防尘装置在制造过程中，通常是在基板上形成牺牲层，然后在牺牲成上形成防尘装置，当基板与牺牲层均使用有机材料的情况下，如果防尘装置的支撑载体也使用有机层形式，则在形成支撑载体的光刻处理，牺牲层上的有机材料也会被溶解，进而导致牺牲层和防尘装置的防尘膜之间的接触面积变小，发生防尘装置从基板上脱落的风险。

此外，在对载体层的有机材料进行热固化处理中，因载体层与防尘膜之间的热膨胀率存在差异，也会导致载体层一侧发生翘曲，这种情况也会影响牺牲层与防尘膜之间的有效接触面积，同样会导致防尘装置从牺牲层剥离，甚至脱落的不良情况。

因此，目前亟需一种防尘装置，能够在制造过程中确保防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积，防止防尘装置在制造过程中发生翘曲或者脱落。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备，以解决目前防尘装置在制造过程中，防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积会受各种因素的影响而减小，导致装置脱落等不良问题。

本发明提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部以及设置在固定部内部的过滤网；并且，在与防尘膜所在平面相平行的平面上，支撑载体的尺寸大于固定部的尺寸，以使支撑载体包围防尘膜设置。

此外，优选的技术方案是，防尘膜为单金属件或者合金件，和/或者防尘膜为单层结构或者多层结构。

此外，优选的技术方案是，防尘膜的边缘与对应侧的支撑载体的侧边之间的最小距离不大于20μm。

此外，优选的技术方案是，支撑载体的厚度范围为10μm～100μm。

此外，优选的技术方案是，在微型麦克风防尘装置的制造过程中，防尘膜形成在设置有牺牲层的基板上，防尘膜位于牺牲层远离基板的一侧；支撑载体设置在防尘膜远离牺牲层的一侧；并且，支撑载体的尺寸大于牺牲层的尺寸，且防尘膜的部位未延伸至基板上。

此外，优选的技术方案是，支撑载体包括主体部和设置在主体部中心位置的通孔；在主体部上设置有台阶状的限位槽，防尘膜限位固定在限位槽内。

此外，优选的技术方案是，固定部限位在限位槽内，以使过滤网悬设在通孔内。

此外，优选的技术方案是，限位槽的深度不小于防尘膜与牺牲层的厚度之和。

根据本发明另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括如上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。

此外，本发明还提供一种电子设备，包括上述微型麦克风防尘装置或MEMS麦克风。

利用上述微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备，在与防尘膜所在平面相平行的平面上，将支撑载体的尺寸设置为大于固定部的尺寸，进而通过支撑载体将防尘膜包围起来，在支撑载体的显影处理以及热处理过程中，能够通过支撑载体隔离外界显影液，确保防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积，避免防尘装置在处理过程中出现脱落或者翘曲的情况。