[发明专利]微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备

权利要求书

1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体上的防尘膜；其特征在于，

所述防尘膜包括固定在所述支撑载体上的固定部以及设置在所述固定部内部的过滤网；并且，

所述支撑载体包括主体部和设置在所述主体部中心位置的通孔，在所述主体部上设置有台阶状的限位槽，所述防尘膜限位固定在所述限位槽内；

在与所述防尘膜所在平面相平行的平面上，所述支撑载体的尺寸大于所述固定部的尺寸，以使所述支撑载体包围所述防尘膜设置；

所述防尘膜形成在基板上并限位在支撑载体上，所述支撑载体设置在所述防尘膜远离所述基板的一侧；并且，

所述支撑载体的尺寸大于所述防尘膜的尺寸，所述支撑载体延伸至所述基板侧，并与所述基板配合形成隔离所述防尘膜的腔体结构；

在所述微型麦克风防尘装置的制造过程中，所述防尘膜形成在设置有牺牲层的基板上，所述防尘膜位于所述牺牲层远离所述基板的一侧；

所述支撑载体设置在所述防尘膜远离所述牺牲层的一侧；并且，

所述限位槽的深度不小于所述防尘膜与所述牺牲层的厚度之和。

2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘膜为单金属件或者合金件，和/或者所述防尘膜为单层结构或者多层结构。

3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘膜的边缘与对应侧的所述支撑载体的侧边之间的最小距离不大于20μm。

4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述支撑载体的厚度范围为10μm~100μm。

5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述固定部限位在所述限位槽内，以使所述过滤网悬设在所述通孔内。

6.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，

所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的声孔处；或者，所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的芯片处。

7.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的微型麦克风防尘装置或如权利要求6所述的MEMS麦克风。