[发明专利]一种金刚石镀膜系统、镀膜方法、终端及可读存储介质在审

专利信息
申请号: 202011376251.1 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112626484A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 孙浩斌;颜练武;张华;李昌业;司守佶;王焕涛 申请(专利权)人: 蓬莱市超硬复合材料有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C28/00;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/06;C25D5/48;C25D5/54
代理公司: 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12224 代理人: 安娜
地址: 265607 山东省烟*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开是关于一种金刚石镀膜系统、镀膜方法、终端及可读存储介质,涉及蒸镀设备技术领域,所述金刚石镀膜系统的支架中部两侧固定有连接柱,两个连接柱之间设置有底板;支架顶部设置有连接盘,连接盘上固定有伸缩杆,伸缩杆下端固定有盖体;盖体与底板密闭连接;凸台上设置有保护垫,保护垫上固定有换能器,换能器上侧设置有变幅杆,变幅杆上侧设置有汇流板,汇流板上设置有石墨加热电极,石墨加热电极内设置有微沉积坩埚;石墨加热电极与汇流板之间设置有绝缘绝热板。本发明通过伸缩杆控制盖体的开合,能够保证使用者的安全,同时能够提高工作效率,节省金刚石镀膜的时间;且本发明控制装置设置于第二立柱上,远离微沉积坩埚,进一步保证使用者的安全。
搜索关键词: 一种 金刚石 镀膜 系统 方法 终端 可读 存储 介质
【主权项】:
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