[发明专利]用于高功率紫外线检验工具的光衰减装置在审
| 申请号： | 201980059355.9 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112703392A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 郑雨 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/33;H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光衰减装置，其包含：外壳；第一滤波器；第一电动机，其经配置以移动所述第一滤波器；及气动致动器，其经配置以移动所述第一滤波器以与所述外壳接触或不与所述外壳接触。所述滤波器包含在宽度上变化的多个狭缝开口，使得通过所述多个狭缝开口的光量随着所述第一滤波器移动而变化。所述光衰减装置还可包含第二滤波器及经配置以移动所述第二滤波器的第二电动机。还揭示一种光衰减方法，其包含：调整滤波器的位置，使得由辐射光束照射所述滤波器的一部分；及在维持所述滤波器的所述部分的所述照射时，移动所述滤波器以与导热对象接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 功率 紫外线 检验 工具 衰减 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980059355.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
