[发明专利]用于高功率紫外线检验工具的光衰减装置

权利要求书

1.一种光衰减装置，其包括：

外壳；

第一滤波器；

第一电动机，其经配置以移动所述第一滤波器；及

气动致动器，其经配置以移动所述第一滤波器以与所述外壳接触或不与所述外壳接触。

2.根据权利要求1所述的光衰减装置，其进一步包括：

第二滤波器；及

第二电动机，其经配置以移动所述第二滤波器。

3.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含在宽度上变化的多个狭缝开口，使得通过所述多个狭缝开口的光量随着所述第一滤波器移动而变化。

4.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含在直径上变化的多个圆形开口，使得通过所述多个圆形开口的所述光量随着所述滤波器移动而变化。

5.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含多个狭缝开口及圆形开口，使得通过所述多个狭缝开口及所述多个圆形开口的所述光量随着所述滤波器移动而变化。

6.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器通过所述电动机绕中心旋转。

7.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器由导热材料组成。

8.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器由铜合金组成。

9.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述外壳包括冷却系统。

10.根据权利要求9所述的光衰减装置，其中所述冷却系统包括所述外壳内的流体通道，且其中冷却剂流体流动通过所述外壳内的所述流体通道。

11.根据权利要求10所述的光衰减装置，其中所述冷却剂流体为水。

12.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述外壳由导热材料组成。

13.根据权利要求2所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器及所述第二滤波器为同轴的。

14.根据权利要求2所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器及所述第二滤波器并非同轴。

15.根据权利要求2所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器的第一开口图案正交于所述第二滤波器的第二开口图案。

16.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含对准凹口。

17.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含至少与由光源发射的光束的光束面积一样大的开口。

18.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器包含不具有至少与由光源发射的光束的光束面积一样大的任何开口的区域。

19.根据权利要求2所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器及所述第二滤波器同步地旋转。

20.根据权利要求2所述的光衰减装置，其中所述第一滤波器及所述第二滤波器异步地旋转。

21.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中通过相对于从光源发射的光束移动所述滤波器而控制通过所述第一滤波器的所述光量。

22.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中由电子控制电路控制所述第一电动机及所述气动致动器。

23.一种光衰减方法，其包括：

(a)调整滤波器的位置，使得由辐射光束照射所述滤波器的一部分；及

(b)在维持所述滤波器的所述部分的所述照射时，移动所述滤波器以与导热对象接触。