[发明专利]一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法在审
| 申请号： | 201911178732.9 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110931613A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 侯想;徐明金;欧金亮;钟梦洁;苏宇;罗荣煌 | 申请（专利权）人： | 福建中晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/22;G03F7/40;G03F7/42 |
| 代理公司： | 天津铂茂专利代理事务所(普通合伙) 12241 | 代理人： | 张天翔 |
| 地址： | 364000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，涉及发光二极管制备技术领域，针对现有兼顾主刻蚀时间选择比和刻蚀速率，造成衬底制备耗时长，制备周期长，生产效率低的问题，现提出如下方案，其包括如下具体步骤，S1,将光刻胶涂覆至蓝宝石衬底上；S2,对蓝宝石衬底上的光刻胶厚度进行测量；S3,对蓝宝石衬底进行曝光；S4,对曝光后的蓝宝石衬底进行显影；S5,对显影后的蓝宝石衬底使用玻璃温度进行烘烤；S6，对蓝宝石衬底进行蚀刻；S7，对蚀刻后的蓝宝石衬底进行清洗，本制备方法能够提高蚀刻选择比，缩短蚀刻时间，压缩蚀刻周期，提高蓝宝石衬底的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 蓝宝石 衬底 制备 效率 方法 | ||
【主权项】：
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