[发明专利]一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法

权利要求书

1.一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于包括如下具体步骤，

S1,将光刻胶涂覆至蓝宝石衬底上；

S2,对蓝宝石衬底上的光刻胶厚度进行测量；

S3,对蓝宝石衬底进行曝光；

S4,对曝光后的蓝宝石衬底进行显影；

S5,对显影后的蓝宝石衬底使用玻璃温度进行烘烤；

S6，对蓝宝石衬底进行蚀刻；

S7，对蚀刻后的蓝宝石衬底进行清洗。

2.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S1的具体工艺为，通过气相沉积工艺将光刻胶均匀涂覆至蓝宝石衬底上。

3.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S2的具体工艺为，通过从原膜上裁剪出原膜片再把所述原膜片，粘附于离型纸或离型膜带胶表面，接着扯下所述原膜片，此时所述原膜片上粘有胶层，得到胶层原膜片，再测量所述胶层原膜片的厚度，再减去所述原膜片的厚度，即可得到胶层厚度。

4.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S3的具体工艺为，用圆环外直径为1.0-3.4μm的同心圆光刻板对光刻胶进行160-210ms的曝光。

5.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S4的具体工艺为，添加TMAH显影液3-7毫升，显影时间4-11秒，一边显影一边以20-70转/分钟速度转动蓝宝石衬底，显影后以1400-3100转/分钟的速度转动蓝宝石衬底，将剩余在所述蓝宝石衬底上的TMAH显影液甩去，然后蓝宝石衬底的转速将低到20-65转/分钟并用去离子水清洗4-12秒，之后再以1500-3100转/分钟的转速转动蓝宝石衬底，使用光罩遮挡的图形区域被保留下来，形成阵列式PSS光刻胶掩模图形。

6.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S5的具体工艺为，通过烘箱或者热板，将光刻胶加热到玻璃温度Tg以上，对曝光好的晶片烘烤10-500sec左右，冷却到常温。

7.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S6的具体工艺为，调整ICP工艺至，经过BCl3的ICP刻蚀后，形成阵列式的PSS图形。

8.根据权利要求1所述的一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法，其特征在于，所述S7的具体工艺为，在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约4-9分钟。