[发明专利]一种大尺寸单晶氧化亚锡及其制备方法有效
| 申请号： | 201810527383.6 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108777250B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;邓培淼;谢伟广;姚日晖;周尚雄;何锐辉;章红科;邓宇熹;卢宽宽;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L21/34 | 分类号： | H01L21/34;H01L29/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于半导体器件领域，公开了一种大尺寸单晶氧化亚锡及其制备方法。将SnCl |
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| 搜索关键词： | 一种 尺寸 氧化 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸单晶氧化亚锡的制备方法，其特征在于包括如下制备步骤：将SnCl2·2H2O溶解在酸溶液中，然后滴加碱性溶液，调节溶液pH值范围为11.5～12.5，生成白色溶胶物质Sn6O4(OH)4，然后超声处理或加热处理，得到黑色沉淀物质，沉淀经分离、洗涤、干燥，得到所述大尺寸单晶氧化亚锡。
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