[实用新型]一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置

摘要

本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型结构简单、成本低廉，制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高。

主权项

一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。