[实用新型]一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。

背景技术

金刚石是自然界中最硬的物质，摩擦系数低，导热性高及优异的化学稳定性等特殊性能使其成为切削工具理想的材料。但是，单独使用金刚石很脆，无法进行高强度的加工，且单晶金刚石刀具因成本高和抗冲击性差的软肋导致其应用领域受到限制。而与之性能相似，但价格低廉的金刚石薄膜却有着更大的发展空间。

目前，热丝CVD法是最为普遍也是最为成熟的制备金刚石涂层刀具方法，由于热丝法设备造价便宜、可控性高，是目前工业应用中的主要方法，制备 CVD金刚石涂层刀具的一大关键技术是提高金刚石薄膜的质量和均匀性，而如何使批量的杆刀在上方和两侧都分布热丝的复杂工况下全部自旋转起来，是解决这一关键技术的核心部分。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，使批量的杆刀在上方和两侧都分布热丝的复杂工况下全部均匀地自旋转起来。

本实用新型的技术方案：

一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：

主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。

所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，在底座的上部设置压盖，发条组件、轴承在压盖的内部，刀具座通过轴承与压盖配合。

所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，在刀具的两侧和上方分布热丝。

所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，在压盖的上方通过隔热屏支座固定隔热屏，旋钮和刀具座分别穿过隔热屏。

所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，副齿轮为两组以上相互啮合，每组副齿轮上通过刀具座设置刀具。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点及有益效果：

1、本实用新型提供的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，结构简单、成本低廉，因此可以实现热丝CVD金刚石涂层刀具的批量生产。

2、由于本实用新型中热丝分布在刀具的两侧和上方，刀具的侧面和顶端都会生长上厚度均匀的高质量金刚石薄膜。

3、本实用新型中刀具旋转时的动力源来装置自带的自发条装置，装置可以独立的放置在CVD反应腔室内部，无需再从CVD反应腔室外部引入传动源，因此，装置更换方便，可以适用于各型规格的刀具。

附图说明

图1为本实用新型的结构主视图。

图2为本实用新型的结构俯视图。

图中：1—底座；2—主齿轮；3—压盖；4—隔热屏支座；5—隔热屏；6—发条组件；7—旋钮；8—副齿轮；9—热丝；10—刀具；11—刀具座；12—轴承。

具体实施方式：

下面，结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。对于这些实施例的详细描述，应该理解为本领域的技术人员可以通过本实用新型来实践，并可以通过使用其它实施例，在不脱离所附权利要求书的精神和本实用新型范畴的情况下，对所示实例进行更改和/或改变。此外，虽然在实施例中公布了本实用新型的特定特征，但是这种特定特征可以适当进行更改，实现本实用新型的功能。

如图1-图2所示，本实用新型自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，该装置主要包括：底座1、主齿轮2、压盖3、隔热屏支座4、隔热屏5、发条组件6、旋钮7、副齿轮8、热丝9、刀具10、刀具座11、轴承12等，具体结构如下：

压盖3在底座1的上部，主齿轮2、副齿轮8在底座1的内部相啮合，发条组件6、轴承12在压盖3的内部；主齿轮2上方依次为发条组件6、隔热屏5、旋钮7，发条组件6上下分别与旋钮7、主齿轮轴连接；副齿轮8上方依次为轴承12、刀具座11、刀具10，刀具座11上下分别与刀具10、副齿轮8连接，刀具座11通过轴承12与压盖3配合，热丝9分布在刀具10的两侧和上方；隔热屏5 通过隔热屏支座4固定在压盖3的上方，旋钮7和刀具座11分别穿过隔热屏5。本实施例中，副齿轮8为三组相互啮合，每组副齿轮8上通过刀具座11设置刀具10。

使用时，通过旋钮7将发条组件6的发条上紧，发条组件6带动主齿轮2均匀旋转，主齿轮2带动副齿轮8均匀旋转，副齿轮8带动放置在刀具座11中的刀具10均匀旋转。