[实用新型]一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置

权利要求书

1.一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：

主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。

2.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，在底座的上部设置压盖，发条组件、轴承在压盖的内部，刀具座通过轴承与压盖配合。

3.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，在刀具的两侧和上方分布热丝。

4.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，在压盖的上方通过隔热屏支座固定隔热屏，旋钮和刀具座分别穿过隔热屏。

5.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，副齿轮为两组以上相互啮合，每组副齿轮上通过刀具座设置刀具。