[发明专利]MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法有效
| 申请号： | 201711022974.X | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107782476B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉昊;谷明玥 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L3/24 | 分类号： | G01L3/24 |
| 代理公司： | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张润<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法，MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：功率施加模块，功率施加模块用于向共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；检测模块，检测模块用于检测可动极板是否运动以判断MEMS开关是否产生自吸合现象，检测可动极板的运动位移变化以测试MEMS开关的自吸合功率。本发明通过向MEMS开关输入射频信号驱动MEMS开关的可动极板运动，检测模块检测可动极板是否运动，并在其运动后检测运动的位移变化来检测MEMS开关的自吸合功率，这样通过测试自吸合功率的方法使得测试系统更加标准化和实用化。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 功率 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：/n功率施加模块，所述功率施加模块用于向所述共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；/n检测模块，所述检测模块用于检测所述可动极板是否运动以判断所述MEMS开关是否产生自吸合现象，检测所述可动极板的运动位移变化以测试所述MEMS开关的自吸合功率。/n
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