[发明专利]MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法

权利要求书

1.一种MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：

功率施加模块，所述功率施加模块用于向所述共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；

检测模块，所述检测模块用于检测所述可动极板是否运动以判断所述MEMS开关是否产生自吸合现象，检测所述可动极板的运动位移变化以测试所述MEMS开关的自吸合功率。

2.根据权利要求1所述的MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述功率施加模块包括：

射频信号子模块，用于向所述共面波导上输入可调射频信号；

功率放大子模块，用于将所述可调射频信号放大预设功率；

可调衰减子模块，用于调节所述放大后的可调射频信号以线性调节所述可调射频信号的功率。

3.根据权利要求1所述的MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述检测模块具体用于根据激光干涉测量原理检测所述可动极板是否运动，根据激光干涉测量原理检测所述可动极板的运动位移变化。

4.根据权利要求3所述的MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述检测 模块包括：激光测振仪。

5.根据权利要求1所述的MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，还包括：导入/导出模块，所述导入/导出模块分别与所述MEMS开关和负载相连，用于将所述射频信号导入所述共面波导上，并将经过所述共面波导的射频信号导出至所述负载。

6.根据权利要求5所述的MEMS开关的自吸合功率测试系统，其特征在于，所述导入/导出模块包括探针台。

7.一种MEMS开关的自吸合功率测试方法，其特征在于，所述MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：

向所述共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；

检测所述可动极板是否运动；

如果所述可动极板运动，则判定所述MEMS开关产生自吸合现象；

检测所述可动极板的运动位移变化；

如果所述运动位移不在随着可调射频信号的改变而改变，则判定当前可调射频信号的功率为所述MEMS开关的自吸合功率。

8.根据权利要求7所述的MEMS开关的自吸合功率测试方法，其特征在于，根据激光干涉测量原理检测所述可动极板是否运动。

9.根据权利要求7所述的MEMS开关的自吸合功率测试方法，其特征在于，根据激光干涉测量原理检测所述可动极板的运动位移变化。