[发明专利]MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法

说明书

本发明公开了一种MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法，MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：功率施加模块，功率施加模块用于向共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；检测模块，检测模块用于检测可动极板是否运动以判断MEMS开关是否产生自吸合现象，检测可动极板的运动位移变化以测试MEMS开关的自吸合功率。本发明通过向MEMS开关输入射频信号驱动MEMS开关的可动极板运动，检测模块检测可动极板是否运动，并在其运动后检测运动的位移变化来检测MEMS开关的自吸合功率，这样通过测试自吸合功率的方法使得测试系统更加标准化和实用化。

技术领域

本发明涉及射频(RF)领域以及微机电系统(MEMS)技术领域，特别涉及一种MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法。

背景技术

射频MEMS开关是指工作在射频范围内的微机械开关，利用微机械结构的运动来控制射频信号传输的通与断，是射频MEMS技术的重要基础部件，也是可变电容、滤波器、移相器、谐振器的基本组成部分。RF MEMS技术应用广泛，可应用于包括移动通讯和卫星通讯在内的各类通讯系统，也可应用于雷达系统和工业控制、测试系统等。

RF MEMS开关的性能参数包括驱动电压、开关时间、工作频率、带宽、插入损耗、隔离度、承载功率、环境特性和使用寿命等。其中MEMS开关的承载功率决定了其实用化的程度，是体现RF MEMS开关性能的重要参数，开关自吸合功率是承载功率的重要影响因素。

RF MEMS开关的测试，在其生产研发过程中是极其重要的一部分。而目前对RFMEMS开关自吸合功率测试的方法缺乏专门的研究，已有测试方法未达到标准化、实用化。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种MEMS开关的自吸合功率测试系统。该MEMS开关的自吸合功率测试系统通过向MEMS开关输入射频信号驱动MEMS开关的可动极板运动，检测模块检测可动极板是否运动，并在其运动后检测运动的位移变化情况来检测MEMS开关的自吸合功率，这样通过测试自吸合功率的方法使得测试系统更加标准化和实用化，进一步地能缩短设计开发时间，提高生产效率从而适应市场需求。

本发明的另一个目的在于提出一种MEMS开关的自吸合功率测试方法。

为了实现上述目的，本发明的一方面公开了一种MEMS开关的自吸合功率测试系统，所述MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：功率施加模块，所述功率施加模块用于向所述共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；检测模块，所述检测模块用于检测所述可动极板是否运动以判断所述MEMS开关是否产生自吸合现象，检测所述可动极板的运动位移变化以测试所述MEMS开关的自吸合功率。

根据本发明的MEMS开关的自吸合功率测试系统，通过向MEMS开关输入射频信号驱动MEMS开关的可动极板运动，检测模块检测可动极板是否运动，并在其运动后检测运动的位移来检测MEMS开关的自吸合功率，这样通过测试自吸合功率的方法使得测试系统更加标准化和实用化，进一步地能缩短设计开发时间，提高生产效率从而适应市场需求。

另外，根据本发明上述实施例的MEMS开关的自吸合功率测试系统还可以具有如下附加的技术特征：

进一步地，所述功率施加模块包括：射频信号子模块，用于向所述共面波导上输入可调射频信号；功率放大子模块，用于将所述可调射频信号放大预设功率；可调衰减子模块，用于调节所述放大后的可调射频信号以线性调节所述可调射频信号的功率。

进一步地，所述检测模块具体用于根据激光干涉测量原理检测所述可动极板是否运动，根据激光干涉测量原理检测所述可动极板的运动位移变化。

进一步地，所述检查模块包括：激光测振仪。