[实用新型]一种磁控溅射内光电传感器防尘装置有效
| 申请号： | 201520517044.1 | 申请日： | 2015-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN204779790U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 刘林;檀玉珩 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 郭禾苗 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射内光电传感器防尘装置。本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，包括伺服电机、光电传感器的激光发射器、反射板和两个葫芦形防尘罩，其中一个葫芦形防尘罩安装于激光发射器的出光口上，另一个葫芦形防尘罩倒置安装于反射板的下方；安装于激光发射器出光口上的葫芦形防尘罩顶部设有灰尘小入口；倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩底部设有灰尘小入口。本实用新型，设计科学、成本低、使用很方便，通过采用入口小、壁室大、两级过滤吸附的葫芦形防尘罩，对激光发射器及反射板进行防尘，不会造成后续的AZO靶材预溅射损耗，不需要破真空清洁，省时省力，提高防尘效率，有效延长光电传感器的使用时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 光电 传感器 防尘 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：包括伺服电机、光电传感器的激光发射器、反射板和两个葫芦形防尘罩，其中一个葫芦形防尘罩安装于激光发射器的出光口上，另一个葫芦形防尘罩倒置安装于反射板的下方；安装于激光发射器出光口上的葫芦形防尘罩顶部设有灰尘小入口；倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩底部设有灰尘小入口。
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