[实用新型]一种磁控溅射内光电传感器防尘装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种磁控溅射内光电传感器防尘装置。

背景技术

在太阳能电池中，薄膜电池具有更强的弱光效应，廉价的制备材料，更佳的视觉效果及易于大规模连续化生产等优点，在光伏建筑一体化(BIPV)中具有广阔的发展前景。对于Si基薄膜电池来说，背电极的导电性能及膜层结构在整个电池的工艺中处于一个非常重要的地位，Si基薄膜电池背电极利用磁控溅射技术（magnetronsputtering，简称PVD）制备，在溅射过程中，芯片通过多室连续溅射从而才能达到需要的膜层精度及工艺。

但是，因为工艺需要溅射AZO靶材时，由于AZO的特殊属性，造成腔室内的AZO粉尘较多，进而造成此工艺腔室内的光电传感器表面脏污，导致生产中止，而清洁光电传感器需破真空清洁，需要耗费大量的时间及人力，且存在后续的AZO靶材预溅射损耗等问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种磁控溅射内光电传感器防尘装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，包括伺服电机、光电传感器的激光发射器、反射板和两个葫芦形防尘罩，其中一个葫芦形防尘罩安装于激光发射器的出光口上，另一个葫芦形防尘罩倒置安装于反射板的下方；

安装于激光发射器出光口上的葫芦形防尘罩顶部设有灰尘小入口；倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩底部设有灰尘小入口。

作为优化，倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩顶部采用密封可旋转结构。

作为优化，所述葫芦形防尘罩内部设有若干个积尘片。

作为优化，所述积尘片呈半圆形。

作为优化，所述葫芦形防尘罩内部设有静电涂层。

作为优化，所述葫芦形防尘罩和激光发射器、反射板均采用活扣装置连接。

作为优化，所述葫芦形防尘罩，采用一侧活扣可分开式结构。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型，设计科学、成本低、使用很方便，通过采用入口小、壁室大、两级过滤吸附的葫芦形防尘罩，对激光发射器及反射板进行防尘，不会造成后续的AZO靶材预溅射损耗，不需要破真空清洁，省时省力，提高防尘效率，有效延长光电传感器的使用时间。具有较好的实际应用价值和推广价值。

附图说明

下面结合附图对本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置作进一步说明：

图1是本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置的结构示意图。

图中：1为激光发射器、2为葫芦形防尘罩、3为反射板、4为灰尘小入口、5为积尘片。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。

如图1所示，本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，包括伺服电机、光电传感器的激光发射器1、反射板3和两个葫芦形防尘罩2，其中一个葫芦形防尘罩2安装于激光发射器1的出光口上，该葫芦形防尘罩2上方50-100mm处反射板3的下方，倒置安装另一个葫芦形防尘罩2；

安装于激光发射器1出光口上的葫芦形防尘罩2顶部设有灰尘小入口4；倒置安装于反射板3下方的葫芦形防尘罩2底部设有灰尘小入口4。

如此设计，通过采用入口小、壁室大、两级过滤吸附的葫芦形防尘罩，对激光发射器及反射板进行防尘，不会造成后续的AZO靶材预溅射损耗，不需要破真空清洁，省时省力，提高防尘效率，有效延长光电传感器的使用时间。

具体的，倒置安装于反射板3下方的葫芦形防尘罩2顶部采用密封可旋转结构。如此设计，针对腔室开口不平而造成的光偏移，使光斑始终处于反射板中央位置。

具体的，所述葫芦形防尘罩2内部设有若干个半圆形积尘片5。如此设计，灰尘下落到积尘片下，沿积尘片下滑到底，可以累积更多的灰尘，进一步延长光电传感器的使用时间。

具体的，所述葫芦形防尘罩2内部设有静电涂层。如此设计，利用静电吸附原理，大大提高了粉尘吸附的能力。

具体的，所述葫芦形防尘罩2和激光发射器1、反射板3均采用活扣装置连接。如此设计，便于清洁葫芦形防尘罩，且可实现多次利用，有效提高使用率。

具体的，所述葫芦形防尘罩2，采用一侧活扣可分开式结构。如此设计，便于安装及清理积尘片上的灰尘，提高使用寿命。

工作原理；