[实用新型]一种磁控溅射内光电传感器防尘装置有效
| 申请号： | 201520517044.1 | 申请日： | 2015-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN204779790U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 刘林;檀玉珩 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 郭禾苗 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 光电 传感器 防尘 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：包括伺服电机、光电传感器的激光发射器、反射板和两个葫芦形防尘罩，其中一个葫芦形防尘罩安装于激光发射器的出光口上，另一个葫芦形防尘罩倒置安装于反射板的下方；
安装于激光发射器出光口上的葫芦形防尘罩顶部设有灰尘小入口；倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩底部设有灰尘小入口。
2.如权利要求1所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩顶部采用密封可旋转结构。
3.如权利要求1所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：所述葫芦形防尘罩内部设有若干个积尘片。
4.如权利要求3所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：所述积尘片呈半圆形。
5.如权利要求1所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：所述葫芦形防尘罩内部设有静电涂层。
6.如权利要求1所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：所述葫芦形防尘罩和激光发射器、反射板均采用活扣装置连接。
7.如权利要求1所述的一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，其特征在于：所述葫芦形防尘罩，采用一侧活扣可分开式结构。
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