[发明专利]基板分类装置有效
| 申请号： | 201010155124.9 | 申请日： | 2010-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101857126A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 志田伦教 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | B65G1/137 | 分类号： | B65G1/137;B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板分类装置具备输送基板的输送线、设在上述输送线的下游并处理基板的处理装置、以及随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置。上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 分类 装置 | ||
【主权项】：
一种基板分类装置，具备：输送基板的输送线；设在上述输送线的下游，并对基板进行处理的处理装置；以及随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。
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