[发明专利]基板分类装置

说明书

技术领域

本发明涉及从基板的输送线将基板输送到其下游的处理装置的基板分类装置。

背景技术

例如，作为将半导体的基板输送给加工装置等处理装置的单张输送线上的基板滞留问题的对策，可以列举利用暂时性地保管基板的缓冲装置。在以往的缓冲装置中有以下两种装置，在升降的盒式的机架和输送线之间由臂或叉移送基板的装置(例如，专利文献1)，和在输送线上安装了升降式的机架的直插式缓冲装置(例如，专利文献2)。

如果是在机架和输送线之间移送基板的缓冲装置，为了接近输送线上的基板，在输送线之外还需要臂或者叉，另外，为了相对于机架的各层取放基板，便需要使机架升降的装置。必须使这些结构连动的缓冲装置便成为复杂且大规模的装置。另外，由于需要相对于位于输送路径外的机架交接基板，因此还需要在基板的交接之际用来防止基板损伤的对策。

另一方面，如果是直插式缓冲装置，由于被安装在输送线上，因此不需要臂或者叉，可以避免装置的复杂化。另外，由于在输送线上进行基板的缓冲，因此不需要相对于位于输送路径外的机架进行的基板的交接和交接时的基板损伤对策。就以上几点而言，直插式缓冲装置与先前的缓冲装置相比是有优点的。但是，由于在使机架一层一层地升降的同时取放基板，因此相对于机架的基板的取放就变成先入后出的方式。因此，当输送目的地不同的基板混在一起时，就不得不另外设置按照输送目的地的不同将基板分类的工序。

在将基板按照输送目的地的不同分类时，例如可以采用横向传送带(例如，专利文献3)。但是，若分类后的基板在分类目的地的输送线上滞留，则滞留的基板的行列不久便超过横向传送带而到达其前面，从而在没有滞留基板的输送线上也不能将基板分类。

专利文献1：日本专利第3892494号公报

专利文献2：日本特开2007-15789号公报

专利文献3：日本特开2006-312507号公报

当抑制如上所述的单张输送线上的基板滞留问题时，希望做成不需要使基板移动到输送路径以外，并且即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下也能够很好地应付的结构。

发明内容

本发明的目的在于提供即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下，也无需使基板移动到输送路径以外便能够抑制输送线上的基板的滞留的基板分类装置。

为了达到上述目的，本发明的观点以如下的内容为要点，即，提供一种基板分类装置，具备输送基板的输送线、设在上述输送线的下游并对基板进行处理的处理装置、以及随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。

根据上述观点，在从输送线将基板输送给处理装置之际，在被随机存取缓冲装置接收的基板之中、由处理装置处理的种类的基板在由随机存取缓冲装置筛选之后再交给处理装置。

没有被处理装置处理的种类的基板，例如就以被随机存取缓冲装置接收的状态被保持。然后，以被接收的状态保持在随机存取缓冲装置的其他种类的基板，例如，在将处理装置更换成处理该种类的基板的装置时，由随机存取缓冲装置筛选后交出。

因而，在随机存取缓冲装置中可以实现暂时保持由输送线输送的基板的缓冲处理，和筛选由处理装置处理的种类的基板的分类处理这两方面。因此，即便输送目的地不同的基板在输送线上混在一起，也无需使基板从输送线移动到输送线以外便能够可靠地抑制基板的滞留。

另外，上述基板分类装置还具备使上述随机存取缓冲装置在包括上述输送线的下游的位置在内的多个位置之间移动的移动单元，上述处理装置配置在上述多个位置之中第一位置的下游，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并在上述第一位置交给上述处理装置也可以。

根据上述结构，被移动单元移动到输送线的下游的位置的随机存取缓冲装置，将多个种类混在一起的基板从输送线接收到各保持部。另外，被移动单元移动到第一位置的随机存取缓冲装置在被接收到各保持部的基板之中筛选由处理装置处理的种类的基板然后交出。

没有通过处理装置处理的种类的基板，利用被移动单元移动到第一位置以外的位置的随机存取缓冲装置按照种类筛选后交出。例如，当在随机存取缓冲装置移动后的第一位置以外的位置的下游配置有其他输送线的情况下，可以筛选作为在该输送线上输送的对象的种类的基板然后交出。