[发明专利]基板分类装置

权利要求书

1.一种基板分类装置，具备：

输送基板的输送线；

设在上述输送线的下游，并对基板进行处理的处理装置；以及

随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。

2.如权利要求1所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备使上述随机存取缓冲装置在包括上述输送线的下游的位置在内的多个位置之间移动的移动单元，

上述处理装置配置在上述多个位置之中第一位置的下游，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并在上述第一位置交给上述处理装置。

3.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备另一处理装置，该另一处理装置配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游，并且与上述处理装置相比所处理的基板的种类不同，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一处理装置处理的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一处理装置。

4.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游并输送基板的另一输送线，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一输送线输送的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一输送线。

5.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

上述第一位置是上述输送线的下游的位置。

6.如权利要求3或4所述的基板分类装置，其特征在于，

上述移动单元在由上述随机存取缓冲装置从上述输送线接收基板结束之后，且由上述处理装置处理的种类的基板已全部从上述保持部交出时，使上述随机存取缓冲装置从上述第一位置移动到上述第二位置。