[发明专利]芯片分类装置与方法有效
| 申请号： | 200710111852.8 | 申请日： | 2007-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101327483A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 赖昌鑫 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;G01N21/88 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;陈肖梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种芯片分类装置与方法，该装置包含：一芯片拾取头以及一影像撷取装置。该芯片拾取头用以将晶圆上的一芯片放入一匣盘；该影像撷取装置用以检测该芯片上的芯片表面，藉以检测该芯片的表面缺陷。该芯片分类方法，包含：通过一芯片拾取头，将一晶圆上的一芯片移至一匣盘；以及通过一影像撷取装置，检测该芯片上的芯片表面。本发明应用于检测芯片的表面缺陷，藉以改善人员目视检验品质不稳定的问题，并同时避免不良的芯片拾取头继续取放芯片，而造成芯片刮伤或残留粉尘。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 分类 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种芯片分类装置，包含：一芯片拾取头，用以将一晶圆上的芯片放入一匣盘；以及一影像撷取装置，用以检测该芯片上的该芯片表面，藉以检测该芯片的表面缺陷。
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