[发明专利]一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法

说明书

本发明公开了一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，包括废气先由吸入一级吸收塔（1），通过淋洗方式，对废气起到均质均量预处理作用；在进入二级喷淋净化塔（2），废气由塔内的导流分布装置分布后，与吸收溶液逆向直接交叉接触处理，然后向下进入内筒填料区域（6），进行液相反应及填料过滤，使废气在塔内具备较长的时间进行充分过滤接触，产生液膜及喷淋发生传质反应，吸收有害物质；然后依次进入三级喷淋净化塔（3）和四级喷淋净化塔（4）内再次进行净化处理，最后经塔出口处设置的进口脱雾装置除雾后，通过引风机送至25m高空达标排放。本发明的优点是保证尾气达标排放，降低废气危害，提高废气处理效率和效果。

技术领域

本发明涉及光伏制造技术领域，尤其涉及一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法。

背景技术

硅料清洗车间的酸性气体需要进行净化处理，其中臭气的主要成份为酸洗时硝酸、氢氟酸、王水等产生高浓度酸性气体，这些气体挥发性较大，易扩散到大气中，而且有毒、刺激性气味大。为防止臭气危害人的健康、污染周边环境，必须对其进行有效遏制，改善周边环境的空气质量，需要被进行有效的收集及处理，并要完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大气中。

发明内容

本发明目的就是为了解决现有硅片料理废气挥发性大、处理难度大的问题，提供了一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，可以保证尾气达标排放，降低废气危害，提高废气处理效率和效果。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，包括采用四级湿法填料塔对氮氧化物酸性气体进行吸收处理，具体步骤如下：

（1）废气由系统风机吸入一级吸收塔，通过淋洗方式，对废气起到均质均量预处理作用；

（2）经一级吸收塔处理后，由系统风机吸入二级喷淋净化塔，废气由塔内的导流分布装置分布后，与吸收溶液逆向直接交叉接触处理，然后向下进入内筒填料区域，进行液相反应及填料过滤，使废气在塔内具备较长的时间进行充分过滤接触，产生液膜及喷淋发生传质反应，吸收有害物质；

（3）二级喷淋净化塔处理后，废气再依次进入三级喷淋净化塔和四级喷淋净化塔内再次进行净化处理，由上至下依次经过喷淋处理和填料过滤处理；

（4）含酸废气经四级喷淋净化塔充分吸收净化后，通过多层喷淋吸收和多层填料拦截吸收处理，最后经塔出口处设置的进口脱雾装置除雾后，通过引风机送至25m高空达标排放。

进一步地，所述步骤（1）~（3）中，喷淋液经过循环系统送回至塔中再利用，喷淋过滤后的废水通过排污泵输送至污水处理站集中处理。

进一步地，所述步骤（1）~（3）中，所述循环系统包括循环泵、循环管路和外水箱，外水箱设置在塔外，其进水口与塔底出水口相连，外水箱的出水口再通过循环泵与循环管路相连，循环管路向上引至塔内，并与塔内的喷淋系统相连。

进一步地，所述步骤（1）~（3）中，一级吸收塔、二级喷淋净化塔、三级喷淋净化塔和四级喷淋净化塔通过导流管依次串联。

进一步地，所述步骤（1）~（3）中，内筒填料区域采用蜂巢网状结构与梯形结构相配合的填料架，填料架包括一组矩形阵列排布的填料盒，每个填料盒的主体呈梯形结构，其横截面由上至下逐渐减小，主体的侧壁和底面上均设有填料，主体的上方设有布水孔板，布水孔板由一组蜂巢结构的网孔组成，以提高带有喷淋液的废气与填料的接触面积和净化效果。

进一步地，所述步骤（1）~（3）中，所述喷淋系统包括主管和支管，主管与外部的循环管路相连，支管包括一对短管、一对中管和一根长管，每对短管和每对中管分别以长管为轴线左右对称设置，且支管与主管垂直交叉，每根支管上均连接一组竖直向下的喷淋头。