[发明专利]一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法

权利要求书

1.一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，包括采用四级湿法填料塔对氮氧化物酸性气体进行吸收处理，具体步骤如下，其特征在于：

步骤一：废气由系统风机吸入一级吸收塔（1），通过淋洗方式，对废气起到均质均量预处理作用；

步骤二：经一级吸收塔（1）处理后，由系统风机吸入二级喷淋净化塔（2），废气由塔内的导流分布装置分布后，与吸收溶液逆向直接交叉接触处理，然后向下进入内筒填料区域（6），进行液相反应及填料过滤，使废气在塔内具备较长的时间进行充分过滤接触，产生液膜及喷淋发生传质反应，吸收有害物质；

步骤三：二级喷淋净化塔（2）处理后，废气再依次进入三级喷淋净化塔（3）和四级喷淋净化塔（4）内再次进行净化处理，由上至下依次经过喷淋处理和填料过滤处理；

步骤四：含酸废气经四级喷淋净化塔（4）充分吸收净化后，通过多层喷淋吸收和多层填料拦截吸收处理，最后经塔出口处设置的进口脱雾装置除雾后，通过引风机送至25m高空达标排放。

2.根据权利要求1所述的光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，其特征在于：

所述步骤一至三中，喷淋液经过循环系统（8）送回至塔中再利用，喷淋过滤后的废水通过排污泵输送至污水处理站集中处理。

3.根据权利要求2所述的光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，其特征在于：

所述步骤一至三中，所述循环系统（8）包括循环泵（81）、循环管路（82）和外水箱（83），外水箱（83）设置在塔外，其进水口与塔底出水口相连，外水箱（83）的出水口再通过循环泵（81）与循环管路（82）相连，循环管路（82）向上引至塔内，并与塔内的喷淋系统（5）相连。

4.根据权利要求1~3任一项所述的光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，其特征在于：

所述步骤一至三中，一级吸收塔（1）、二级喷淋净化塔（2）、三级喷淋净化塔（3）和四级喷淋净化塔（4）通过导流管（7）依次串联。

5.根据权利要求1~3任一项所述的光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，其特征在于：

所述步骤一至三中，内筒填料区域（6）采用蜂巢网状结构与梯形结构相配合的填料架，填料架包括一组矩形阵列排布的填料盒（61），每个填料盒（61）的主体呈梯形结构，其横截面由上至下逐渐减小，主体的侧壁和底面上均设有填料（611），主体的上方设有布水孔板（612），布水孔板（612）由一组蜂巢结构的网孔（612a）组成。

6.根据权利要求1~3任一项所述的光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，其特征在于：

所述步骤一至三中，所述喷淋系统（5）包括主管（51）和支管（52），主管（51）与外部的循环管路（82）相连，支管（52）包括一对短管（521）、一对中管（522）和一根长管（523），每对短管（521）和每对中管（522）分别以长管（523）为轴线左右对称设置，且支管（52）与主管（51）垂直交叉，每根支管（52）上均连接一组竖直向下的喷淋头（53）。