[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺

说明书

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺，涉及蓝宝石衬底不良片再利用技术领域；为了便于将蓝宝石衬底尺寸不良片针对性的区分处理；具体包括以下步骤：S1：一次检测，检测蓝宝石衬底尺寸不良片，底宽计为W，高度计为H；S2：分类，尺寸标准规格中，底宽最大为MAX_W，高度最大为MAX_H；基于MAX_W与MAX_H进行分类；其中，若W＞MAX_W，且H为标准规格则属于W类；若W为标准规格，H＞MAX_H则属于H类；若W＞MAX_W，H＞MAX_H则属于WH类。本发明将蓝宝石衬底尺寸不良片进行可靠的分类，并针对性的处理，达到了减少报废率，降低成本的目的，且工艺步骤简单，环保性强。

技术领域

本发明涉及蓝宝石衬底不良片再利用技术领域，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺。

背景技术

蓝宝石衬底是制作LED芯片时较为常用的一种衬底材料；蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底；蓝宝石衬底在生产加工中，可能因种种原因造成尺寸不良，目前对尺寸不良的蓝宝石衬底多为报废处理，浪费了资源，环保性较差，同时导致生产成本的增大。

经检索，中国专利申请号为CN201610129077.8的专利，公开了一种蓝宝石衬底回收再利用方法，包括步骤S11，高温烘烤，把完整的待报废的外延片放入烘烤炉进行烘烤，所述高温烘烤的温度为600℃-1400℃，所述外延片的衬底为蓝宝石衬底；步骤S12，浓酸高温清洗，把经过上述高温烘烤后的外延片进行浓酸高温清洗，所述浓酸的浓度为60％-99％，所述浓酸高温清洗的温度为60℃-300℃。上述专利中的再利用方法存在以下不足：不能够很好的针对生产过程中产生的尺寸不良的不良片进行再加工，因此还有待改进。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺，包括以下步骤：

S1：一次检测，检测蓝宝石衬底尺寸不良片，底宽计为W，高度计为H；

S2：分类，尺寸标准规格中，底宽最大为MAX_W，高度最大为MAX_H；基于MAX_W与MAX_H进行分类；

其中，若W＞MAX_W，且H为标准规格则属于W类；

若W为标准规格，H＞MAX_H则属于H类；

若W＞MAX_W，H＞MAX_H则属于WH类；

S3：一次清洗；

S4：根据分类后的尺寸重新进入刻蚀机补刻；

S5：二次检测；

S6：二次清洗；

S7：分规，对补刻后产品进行常规AOI分规。

优选的：所述S1步骤与S5步骤中，对蓝宝石衬底尺寸不良片使用AFM即原子力显微镜进行尺寸检测。

进一步的：所述S3步骤与S6步骤中，对蓝宝石衬底尺寸不良片采用SPM溶液进行清洗，清洗后甩干。